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    中科院微電子研究所KW-5型勻膠機/旋涂儀

    更新時間:2021-12-27

    簡要描述:

    中國科學院微電子研究所生產的KW-4A/KW-5型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

    品牌其他品牌價格區間1-5萬
    產地類別國產應用領域生物產業,電子,航天

    中國科學院微電子研究所生產的KW-4A/KW-5型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

    技術參數及要求:變頻調速
    基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
    轉速:500-5000 轉/分
    轉速穩定性:±1%
    旋涂均勻性:±5%
    旋涂工藝階段:2 段
    旋涂時間:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
    整機尺寸(長寬高):425 mm×500 mm×300 mm
    裸機尺寸(長寬高):425mm×500mm×190mm
    電機功率:180W
    適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料

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