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    中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

    更新時間:2021-12-27

    簡要描述:

    我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型、KW-5型和KW-4T型。

    品牌其他品牌產地類別國產
    應用領域電子

    中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

    產品簡介 

    我研究室生產的KW-4A、KW-4T型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型/KW-5型/KW-4T型。 

    技術參數及要求:
    基片尺寸: Φ 5 Φ 100mm 圓片,*大 100 × 100mm 2 方片
    轉速: 25 0 9 000RPM
    旋涂設置:任意階段之間均可任意升降調節
    轉速穩定性: 1%
    旋涂均勻性: 1
    旋涂工藝階段: 6 段
    旋涂時間:單步工藝 0 180 0s 可根據 客戶需求 調節
    整機尺寸( 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 248 mm
    裸機尺寸 長寬高 210 mm × 2 8 0 mm × 1 55mm
    電機功率: 40W
    適應材料:硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料
    配套 無油真空泵參數:
    型號: K W 550A/KW 550T
    抽速: 1 .5 升 秒
    功率: 3 20W
    噪音: 50db
    *低真空度: 700mmHg
    重量: 7.3 Kg
    尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率: :>60L/min

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